出版时间:2001-1 出版社: 作者:晏 磊 刘光军著
内容概要
《静电悬浮控制系统》包括球电极三维静电力分析,球碗间隙纳米级计算,变间隙电容传感器设计,悬浮支承随动控制,并行容错分时分频支承控制,静电悬浮综合技术与机电关系等。
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