金刚石薄膜沉积制备工艺与应用

出版时间：2001-6  出版社：冶金工业出版社  作者：戴达煌  

内容概要

这是一本较全面地叙述金刚石薄膜沉积制备工艺与应用的书。本书从金刚石薄膜的优异性能和应用前景出发，阐述了各种沉积薄膜的制备方法；论述了金刚石薄膜的非平衡热力学和金刚石膜声场的动力学因素；较详尽地探讨了能大面积沉积金刚石膜的热丝装置和当今沉积速率最高的等离子射流装置的一些关键技术和成膜关键技术和成膜工艺；同时介绍了性能接近金刚石膜、易实现产业化、应用前景看好的雷金刚石膜的制备工艺、性能和应用。最后展望了金刚石膜未来的发展前景，指出金刚石膜必将成为21世纪有影响的功能薄膜材料。