半导体制造技术

出版时间：2004-1  出版社：电子工业出版社  作者：Michael Quirk,Julian Serda  页数：600  字数：986000  译者：韩郑生  
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内容概要

在半导体领域，技术的变化遵循着摩尔定律的快速节奏，是以月而不是以年为单位计的。本书详细追述了半导体发展的历史并吸收了当今最新技术资料，学术界和工业界都称赞这是一本目前在市场上能得到的最全面、最先进的教材。全书共分20章，章节根据应用于半导体制造的主要技术分类来安排，内容包括：与半导体制作相关的基础技术信息；总体流程图的工艺模型概况，用流程图将硅片制造的主要领域连接起来；具本讲解每一个主要工艺；集成电路装配和封装的后部工艺概况。此外，各章为读者提供了关于质量测量和故障排除的问题，这些都是会在硅片制造中遇到的实际问题。
    本书适合作为高等院校微电子技术专业的教材，也可作为从事半导体制造与研究人员的参考书及公司培训员工的标准教材。

书籍目录

第1章 半导体产业介绍第2章 半导体材料特性第3章 器件技术第4章 硅和硅片制备第5章 半导体制造中的化学品第6章 硅片制造中的沾污控制第7章 测量学和缺陷检查第8章 工艺腔内的气体控制第9章 集成电路制造工艺概况第10章 氧化第11章 淀积第12章 金属化第13章 光刻：气相成底膜到软烘第14章 光刻：对准和曝光第15章 光刻：光刻胶显影和先进的光刻技术第16章 刻蚀第17章 离子注入第18章 化学机械平坦化第19章 硅片测试第20章 装配与封装附录A 化学品及安全性附录B 净化间的沾污控制附录C 单位附录D 作为氧化层厚度函数的颜色附录E 光刻胶化学的概要附录F 刻蚀化学术语表

媒体关注与评论

　　本书追述了半导体集成电路的发展历史，详细描述了集成电路制造的全过程，即硅片制备、硅片制造、硅片测试/拣选、装配和封装以及终测。具有大量精美的图片、图表及具体详实的数据。对立志从事微电子技术工作，而又未能实际体验集成电路制造过程的人来说，它无疑是一位良师益友。即使是正在从事集成电路制造的工程技术人员，也一定会认为它是非常具有价值的参考书。

编辑推荐

　　本书追述了半导体集成电路的发展历史，详细描述了集成电路制造的全过程，即硅片制备、硅片制造、硅片测试/拣选、装配和封装以及终测。具有大量精美的图片、图表及具体详实的数据。对立志从事微电子技术工作，而又未能实际体验集成电路制造过程的人来说，它无疑是一位良师益友。即使是正在从事集成电路制造的工程技术人员，也一定会认为它是非常具有价值的参考书。

用户评论 (总计34条)

•   微电子，集成电路，特别是半导体方向的同志们可以参考一下哈
•   半导体制造技术中经典的书，里面讲得很详细
•   本书系统的阐述了半导体发展和制造的全过种，收获不小。
•   半导体制造行业很好的工具书
•   对于整个半导体工艺介绍得比较全面，是一本不错的入门级书。如果需要看深入一点的理论知识就没有必要考虑了。
•   本书比较适合从事晶圆制造工作有关的人员。
•   这本书不错哦!!初作半导体行业的朋友可以看一下哦
•   对IC制造很不错.
•   本人是做失效分析的，要求了解IC的制程，书非常好，完整看过两次，对IC制程已是非常了解。
•   不错的一本书，赞一个
•   价格实惠,而且方便,买到的书质量也相当好
•   非常不错!内容浅显易懂!图文并茂.叙述详尽!虽稍显过时.但初级的绝对足够!
•   放心购买吧~
•   Wellorganized,Clear,Accurate,Detailed,Alotofgoodandclearfigures(surprised!)
•   见过最好的一本
•   再说一次好书
•   一本对集成电路微加工工艺描述得很清楚的书，不错！
•   某些部分的内容有些旧，不过，算的上是很全很详细的一本书，适合作为半导体入门读物
•   半导体知识学习的最佳参考书！！
•   半导体入门的好读物，也可作为工作手册。
•   半导体方面很好的书，不错
•   很好，是微电子方面的良好参考资料。
•   比较好了,对我从事的行业有所帮助!
•   好详细啊.可以当手册用了^-^
•   教材，工具书。不错
•   质量和内容都还行
•   帮我朋友买的，太专业了！
•   这个书很好，虽然我买了还没看，看的人表示很满意，说我买得不错。
•   不错，还是很不错的书籍，可以和英文版的一起读
•   虽然买了很久一直没看，但感觉还是蛮实用的
•   的确是一本好书,只是有点过于琐碎~不过对新人还是很好的
•   买回来好好看了
•   除了贵一点，其他都OK
•   我的书居然有道裂缝，虽然只是在书面中间标题处一条小裂缝，但是超不爽！同学还以为我从哪里淘的二手书呢！！以前买的书都挺好，怎么这本这样！！！！请问你们是不是有什么赔偿那！！