聚焦离子束微纳加工技术

出版时间：2010-8  出版社：北工大  作者：顾文琪  
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内容概要

本书重点讲述聚焦离子束技术的原理；聚焦离子束系统的结构，包括离子源、离子光学柱体、图形发生器和精密工件台等；还探讨了聚焦离子束的有关关键技术。