CMOS MEMS 技术与应用

出版时间：2007-7  出版社：东南大学出版社（南京东南大学出版社）  作者：黄庆安,秦明  页数：500  
Tag标签：无  

内容概要

本书是目前国内外唯一叙述集成化MEMS的专著。CMOS电路技术是当今微电子的主流技术，本书主要介绍如何将MEMS与CMOS电路集成的方法和应用。内容包括CMOS MEMS的制备工艺、材料表征及其与电路或系统的集成化技术；CMOS MEMS技术在惯性传感器、压力传感器、指纹传感器系统、化学传感器、生化传感器、热传感器和RF器件及系统中的应用。　　本书由国际上20余位知名专家撰写，内容丰富，参考文献全面。适合于微电子技术、微机电系统（MEMS）技术、传感器技术、通讯技术等相关领域的高年级本科生、研究生和工程技术人员参考。

书籍目录

1　制造工艺　1.1　CMOS工艺　1.2　CMOS兼容的微机械加工工艺模块　1.3　MEMS和NEMS的CMOS兼容设计　1.4　CMOS的微机械加工　1.5　结束语　1.6　参考文献2　材料表征　2.1　引言　2.2　电特性和热电特性　2.3　热特性　2.4　机械特性　2.5　结束语　2.6　参考文献3　单片集成惯性传感器　3.1　引言　3.2　集成多晶硅惯性传感器　3.3　采用CMOS标准工艺加工的薄膜惯性传感器　3.4　金属惯性传感器　3.5　体硅加工集成MEMS惯性传感器　3.6　发展趋势　3.7　参考文献4　CMOS　MEMS声学器件　4.1　引言　4.2　麦克风　4.3　扬声器　4.4　超声　4.5　结论　4.6　参考文献5　CMOS　RF　MEMS6　CMOS压力传感器7　CMOS化学传感器8　生物测定CMOS电容式指纹传感器系统9　CMOS生化敏感系统10　CMOS热传感器11　电路和系统集成

用户评论 (总计5条)

•   对我很有帮助，第一本CMOSMEMS合成书籍
•   虽然书有点旧 但是知识类的书籍能用就可以 性价比很高
•   封皮有些陈旧，里面的质量还好
•   收到书，还行，封皮有点旧就是。。
•   感觉还行，就是和期望的不一样，总的来说，稍微有点贵