硅微型惯性器件理论及应用

出版时间：2000-10  出版社：东南大学出版社  作者：王寿荣　编著  页数：178  字数：280000  
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内容概要

本书系统地介绍了硅微型惯性器件的理论及应用问题。全书共7章，第1章介绍微型惯性器件的物理基础；第2章至第4章为硅微型惯性器件的原理及误差分析，第5章介绍硅微型惯性器件的制备工艺；第6章简介几种微电容测量方法及硅微型惯性仪表的测控回路；第7章为硅微型惯性器件的组合及应用。　　本书系中国船舶工业总公司“九五”规划教材，可作为高等学校测控技术与仪器及其相关专业的研究生，本科生的教学参考书，也可供从事传感器、执行器及惯性技术研究的工程技术人员阅读。

书籍目录

0　绪论　0.1　微机系统与微型制造技术　0.2　硅微型惯性器件及微惯性测量组合1　微型惯性器件的物理基础　1.1　硅材料的物理性能　1.2　微型惯性器件的动力学基础　1.3　微机械元件的弹性理论基础2　硅微型加速度计　2.1　概述　2.2　原理结构　2.3　误差分析及补偿　2.4　硅微加速度计的测试与定标3　硅微型框架驱动或陀螺仪　3.1　结构组成和作用原理　3.2　运动方程　3.3　误差分析　3.4　结构设计4　硅微型梳状驱动陀螺仪　4.1　音叉式振动陀螺仪　4.2　静电梳状驱动谐振器　4.3　硅微型梳状线振动驱动式陀螺仪　4.4　硅微型梳状角振动驱动式陀螺仪　4.5　谐振频率的调节　4.6　硅微型振动陀螺仪的计算机辅助分析5　硅微型惯性器件的制备　5.1　硅微机械加工技术简介　5.2　硅微型惯性器件的制备6　硅微型惯性仪表的测控技术7　硅微型惯性器件的组合及应用参考文献