硅多晶真空区熔基硼检验方法

出版时间：2008-2  

内容概要

《硅多晶真空区熔基硼检验方法(GB/T 4060-2007)》是对国家标准GB／T 4060—1983，与其相比，主要变动如下：1、测杂质浓度范围扩大为0.002×10－9～100×10－9；2、增加了“规范性引用文件”、“术语”、“允许差”、“计算”；3、将原标准中的第5章“检验条件”修订为“干扰因素”；4、将原标准中的取样位置修订为距多晶硅棒表面不低于5 mm，距多晶硅棒底部不低于50 mm；5、将原标准中的试样尺寸范围修订为直径15 mm～20 mm，长度为180 mm。