圖解真空技術入門

出版社：世茂  作者：小宮宗治 著 羅丞曜 译  页数：156  

内容概要

　　《圖解真空技術入門》是因應當前大眾需要所特別撰寫，內容盡量解說最基本的入門知識，因此，即使是非常重要的專業知識也大膽捨棄，相信《圖解真空技術入門》能補足真空技術入門書籍不足的缺慽。讀者可將此書當作學習更專業知識前的跳板，掌握基本概要，將讓您更得心應手。

作者简介

　　小宮宗治（Soji Komiya），1948年東京工業大學附屬工業專門部金屬工業科畢業，1959年就職於日本真空技術株式會社，1977年獲得東京工業大學工學博士學位，1979年被任命為日本真空技術株式會社董事（director），1986年就職於株式會社Ulvac Cooperate Center常務董事（director），1990年就職於株式會社筑波研究聯合中心（consortium）董事（director），1995年就職於株式會社筑波研究聯合中心（consortium）專務理事，1998年由株式會社筑波研究聯合中心（consortium）專務理事退休。　　　　羅丞曜，日本東京大學畢業。電氣工學博士。現任**清華大學奈米工程與微系統研究所助理教授。近期研究興趣為半導體材料、光學微機電系統、印刷式生產技術及軟性電子元件。截至目前為止個人著有十八篇科技論文並擁有六件半導體元件製程國際專利。自2000年起持續從事英文及日文科技圖書及論文的翻譯、校稿及潤稿工作。目前譯有《圃解光與雷射應用》（世茂出版）。

书籍目录

1章 何謂真空？1-1 真空的作用1．真空到底是什麼？2．為什麼需要真空？1-2 真空技術的基礎（氣體分子的運動）1．真空的定義與壓力的單位2．氣體分子的密度與壓力3．氣體分子的碰撞與平均自由徑4．真空容器的尺寸及平均自由徑5．碰撞真空容器內壁的氣體分子數量及壓力1-3 氣體流通的難易程度：傳導性1．傳導性的定義2．長圓導管的傳導性3．開孔的傳導性（分子流）4．短圓導管的傳導性（分子流）5．彎曲導管的傳導性6．串聯及並聯的傳導性及蒙地卡羅計算參考文獻2章 真空中發生的物理現象2-1 真空中的蒸發、昇華1．水的蒸發，冰的昇華2．金屬的蒸發、真空蒸鍍3．高分子油的蒸發、真空蒸鍍2-2 真空與熱1．對流與分子熱傳導2．真空中的熱輻射3．真空及低溫2-3 吸附及脫離1．壁面上的凝縮及物理吸附2．滯留時間2-4 真空中的放電現象1．電子2．離子與高能粒子3．電漿與真空4．濺鍍參考文獻3章 真空的產生3-1 從大氣壓下開始排氣的粗抽幫浦1．油回轉幫浦2．粗抽幫浦的排氣時間……4章 真空的量測5章 真空系統的組成元件6章 測漏技術7章 超高真空與潔淨的真空8章 真空工業的發展附錄Ⅰ 馬克士威分布法則附錄Ⅱ氣體分子的平均自由徑附錄Ⅲ 碰撞內壁的氣體分子數

编辑推荐

　　真空技術早在20世紀初就出現，直到20世紀後半才迅速被廣泛應用。《圖解真空技術入門》從初階的何謂真空、真空中的物理現象、真空的產生一直到真空的量測、真空系統的組成元件、側漏技術、超高真空與潔淨真空、真空工業的發展，每一個單元都詳盡說明。實屬史上第一本針對初次接觸真空技術的讀者做全面性解說的書籍。希望能成為您進一步認識真空技術的助力。