微系统和纳米技术

出版时间：2007-7  出版社：科学  作者：周兆英  页数：820  
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内容概要

　　微系统和纳米技术，是微米纳米技术的两个重要组成，既有区别又有联系，是一个新兴的多学科交叉的科技领域。《微系统和纳米技术》南40多位国内外著名专家学者分章撰写，分为微系统和纳米科学技术基础、微系统技术、纳米技术、应用问题、发展和展望五个部分，共26章。全书统一规划，各章独立，由浅入深，图文并茂。收录众多在第一线耕耘的作者的科技成果和亲身体验是《微系统和纳米技术》的重要特点，书中还邀请了美、德、英、日和我国的权威专家畅谈他们数十年从事微系统研究的经验和对未来的展望，从科技发展的规律说明微米纳米科技发展的阶段性和成熟周期。　　《微系统和纳米技术》可作为相关领域本科生、研究生和教师的教学参考书，并可供相关的科技人员参考。

作者简介

　　王中林，CUSPES83，物理学博士，美国佐治亚理工学院（Geor-giaInstituteOfTechnology）终身教授，佐治亚理工学院校摄政董事教授（RegentsProfessor），佐治亚理工学院纳米材料科学与技术中心主任，中国国家纳米科学中心海外主任，中国首批国家自然科学基金海外优秀青年科学家，中国科学院海外杰出学者基金获得者，欧洲科学院院士。　　王中林教授长期从事纳米材料科学研究，在碳纳米管、纳米带、生物医用纳米材料等研究方面具有很深的造诣。曾荣获美国显微镜学会1999年巴顿奖章、佐治亚理工学院2000年杰出研究奖、2001年S.T.L.奖金（美国化学学会）、美国自然科学基金会Career基金等。王中林教授在国际一流学术刊物上发表论文400篇，论文被引用7000次以上，是1992—2000年十年内纳米科技论文引用次数世界个人排名前25位作者之一。他成功组织并担任过5次国际学术会议主席，出版4本专著和10本编辑书籍，被邀请做过300余次学术讲演和大会特邀报告。法国居里夫人大学和法国联合大学曾于2003年5月7日，以王中林教授个人名义举办纳米科技专题研讨会。

书籍目录

编者的话第一篇 微系统和纳米技术基础第1章 纳时代的信息电子学第2章 微/纳流体力学第3章 微系统中的材料问题第4章 微机电系统的数值仿真方法第5章 多学科交叉中的纳米力学第6章 纳米结构与单分子的电子输运性质第7章 纳米材料的结构分析和表征第二篇 微系统第8章 MEMS介绍第9章 微机电传感器第10章 微致动器第11章 MEMS设计第12章 微型电系统的加工制造工艺和技术第13章 光MEMS和纳米光子第14章 MEMS封装介绍第三篇 纳米技术第15章 纳米管、纳米线和纳米带第16章 半导体纳米晶体——量子点、量子线、量子棒第17章 STM和AFM在纳米加工和制造中的应用第18章 纳米尺度制造第19章 基于微机电系统造工艺的集成纳米技术第四篇 微系统和纳米技术应用第20章 微机电系统的应用第21章 微机电传感系统第22章 集成CMOS检测电路的表面微机械加速度计第23章 汽车的MEMS第24章 生物芯片第25章 纳米技术在生物和医学中的应用第五篇 发展和展望第26章 发展和展望